扫描电子显微镜的Z高度测量

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难题
一家半导体检查工具制造商正在使用扫描电子显微镜在生产过程中识别硅晶片上的缺陷。 他们需要一种快速可靠的方法来将显微镜定位在晶片上方的适当焦距处。 该工具处于连续运行状态,因此他们需要尽快执行此操作,以增加吞吐量并最大化利润。

扫描电子显微镜(SEM)是一种显微镜,通过用聚焦的电子束扫描表面来产生样品图像。 电子与样品中的原子相互作用,产生一个包含有关样品表面形貌和成分的各种信息的信号。 电子束以光栅扫描模式进行扫描,并且电子束的位置与检测到的信号结合在一起以产生图像。 SEM可以实现优于1纳米的分辨率。 可以使用常规SEM在高真空下观察样品,或者在可变压力或环境SEM下在低真空或潮湿条件下观察样品,并使用专用仪器在宽范围的低温或高温下观察样品。 客户正在寻找一种更快的方法来完成其应用程序中的检查过程。

为什么选择Lion Precision
过去30年来,Lion Precision已向行业提供用于精确测量的非接触式电容位移测量系统。 它们的高带宽,纳米级分辨率和真空兼容性以及极高的可靠性和定制设计能力等,使Lion Precision电容式传感器系统成为此测量的最佳选择。

流程
客户是专门来Lion Precision的,他们为他们提供了集成的传感器解决方案,该解决方案使电子显微镜的光学头能够快速移至晶片上方的焦点范围内。 Lion Precision开发了具有45°表面的定制电容式探头,以适应可用空间。 探头被封装在PEEK(一种塑料绝缘材料)中,以提高可靠性并防止真空室内出现充电问题。 电容式驱动器经过优化,可以在1 ms内进行开/关切换。 驱动器上的双范围选项允许将显微镜放置在两个不同的高度。 该系统提供了带有真空馈通和LEMO连接器的HV(高真空10-6托)环境。 电容式探头安装在电子显微镜光学系统的侧面。 当显微镜头沿Z方向向下移动时,使用盖传感器测量值将其快速移动到晶圆上方的焦点范围内。 然后获得电子显微镜的最终(精细)焦点。

解决方案
Lion Precision利用定制为45度角的真空兼容电容式探头,并 CPL290驱动器。 该产品既满足了探头所需空间的空间限制,又满足了真空兼容性。 的 CPL290 选择它是因为它具有多范围和高分辨率功能。

优势
使用电容传感器将电子显微镜快速聚焦到晶片上时,客户每个操作周期可节省约6秒钟的时间。 电子显微镜用于定位和校正表面缺陷。 由于这些平台24/7全天候运行,因此可以节省大量时间。 反过来,这可以提高晶圆产量,并每小时产生更多收入。

定制
Lion Precision了解到我们的客户具有独特的高精度应用,却又难以达到性能规格。 因此,我们与每位客户紧密合作,以确保他们获得满足其应用需求的解决方案。 这就是为什么我们60%以上的产品都是定制的。 这也是为什么我们围绕快速响应和服务这些定制的称心应用而建立我们的团队的原因。 请给我们打电话,一起来讨论您的特定需求。

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