QuikApps —用于光刻机,检查或后处理中的硅晶圆的预聚焦定位

传感器通过快速预聚焦提供更快的吞吐量

传感器通过快速预聚焦提供更快的吞吐量

硅晶片在制造过程中会经历多个过程。 有些过程需要精确聚焦,例如电子显微镜,光刻或激光后处理。

使用 电容式  电涡流  传感器用于监视固定晶片的硬件的位置,可以来提供精确的聚焦和/或通过提供快速的预聚焦定位来提高聚焦效率。