Z-高度检测用于半导体晶圆背面检测

半导体案例研究

优势

可检测项目:

  • 缺陷检测
  • 裂纹
  • 分层
  • S划痕
  • 污染检测
  • 碎屑
  • 泥浆
  • 残留清洗剂 A男厕所

免费下载

案例研究PDF

解决方案

CPL350驱动器

C9.5-5.6S探头

相关案例研究

扫描电子显微镜的Z高度测量

SEMI硅晶圆厚度检测

其他的链接

Z高度白皮书

电容式传感器优化与技术

难题
背面检测和审查是一个关键阶段,以确定晶圆是否由于工具故障或工艺问题而被颗粒污染。 污染会导致产量下降。 由于污染会造成步进式光刻机发热或制程工具的进一步污染,因此在问题发生之前进行污染检测是非常必要的。

为什么选择Lion Precision
过去30年来,Lion Precision已向行业提供用于精确测量的非接触式电容位移测量系统。 它们的高带宽,纳米级分辨率和真空兼容性以及极高的可靠性和定制设计能力等,使Lion Precision电容式传感器系统成为此测量的最佳选择。

流程
为了解决客户的问题,Lion Precision首先了解围绕客户应用的各种要求,这些要求从精度级别(分辨率和带宽),通信(模拟或数字)和环境(真空,温度等)开始。 一旦选择了合适的探头和驱动器,便会考虑对尺寸和安装的限制进行审查。 在此应用中,探头安装在晶圆本身下方。 这使客户可以利用Lion Precision的电容式探头检测元件,该探头元件在被测表面的相对较大区域内取平均结果,因此非常适用于自动检查系统上的“ Z高度/焦点”检测。 最终,通过针对特定量程范围的定制校准对探头进行了调整,以为客户提供最大的可用性能,从而为检测污染和缺陷提供了最佳的检测流程。

解决方案
Lion Precision使用了兼容真空的C9.5-5.6S电容式探头,并经过了定制校准 CPL350驱动器。 该产品满足了探头所需空间的空间限制以及真空兼容性。

优势
客户减少了诸如气泡,裂纹,分层和划痕之类的缺陷,同时帮助发现了诸如碎屑,浆料和残留清洁剂之类的污染。 拥有更清洁,更平坦的晶圆背面,客户见证了晶圆制造产量的提高。

其他应用案例
除了晶圆背面检查应用外,Lion Precision传感器还可用于在其他类型的显微镜和基于光学的计量系统上进行Z高度位移测量。

定制
Lion Precision了解到我们的客户具有独特的高精度应用,却又难以达到性能规格。 因此,我们与每位客户紧密合作,以确保他们获得满足其应用需求的解决方案。 这就是为什么我们60%以上的产品都是定制的。 这也是为什么我们围绕快速响应和服务这些定制的称心应用而建立我们的团队的原因。 请给我们打电话,一起来讨论您的特定需求。

有用的链接

下载案例研究PDF

Z高度白皮书

电容式传感器优化与技术

电容式传感器

电涡流传感器