MEDIÇÃO DA ALTURA Z PARA MICROSCÓPIO DE ELETRÔNICO DE DIGITALIZAÇÃO

ESTUDO DE CASO DO SEMICONDUTOR

OS BENEFÍCIOS

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A Solução

Driver CPL290

SONDA C9.5-5.6S

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O problema
Um fabricante da Ferramenta de Inspeção de Semicondutores usava um microscópio eletrônico de varredura para identificar defeitos nas pastilhas de silício durante o processo de produção. Eles precisavam de uma maneira rápida e confiável de posicionar o microscópio na distância focal adequada acima da bolacha. A ferramenta está em operação contínua, portanto, eles precisam fazer isso o mais rápido possível para aumentar a produtividade e maximizar o lucro.

Um microscópio eletrônico de varredura (MEV) é um tipo de microscópio que produz imagens de uma amostra ao escanear a superfície com um feixe de elétrons focado. Os elétrons interagem com os átomos da amostra, produzindo um sinal que contém várias informações sobre a topografia e composição da superfície da amostra. O feixe de elétrons é varrido em um padrão de varredura de varredura e a posição do feixe é combinada com o sinal detectado para produzir uma imagem. O SEM pode alcançar uma resolução melhor que 1 nanômetro. As amostras podem ser observadas em alto vácuo no MEV convencional, ou em baixo vácuo ou em condições úmidas em pressão variável ou MEV ambiental, e em uma ampla faixa de temperaturas criogênicas ou elevadas com instrumentos especializados. O cliente procurava uma maneira mais rápida de concluir o processo de inspeção em sua aplicação.

Por que a Lion Precision
Por mais de 30 anos, a Lion Precision fornece sistemas de medição de deslocamento capacitivo sem contato para medições precisas à indústria. Sua alta largura de banda, resolução nanométrica e compatibilidade de vácuo combinadas com confiabilidade muito alta e capacidade de design personalizado fizeram do sistema capacitivo Lion Precision a melhor escolha para essa medição.

O Processo
O cliente veio especificamente à Lion Precision para fornecer a eles uma solução de sensor integrado que permitia que a cabeça óptica do microscópio eletrônico fosse rapidamente movida para sua faixa focal sobre a bolacha. A Lion Precision desenvolveu uma sonda capacitiva personalizada com uma superfície de 45 ° para ajustar o espaço disponível. A sonda foi encapsulada em PEEK (um material isolante de plástico) para melhorar a confiabilidade e evitar problemas de carregamento na câmara de vácuo. O driver capacitivo foi otimizado para permitir a ativação / desativação dentro de 1 ms. A opção de faixa dupla no driver permitiu que o microscópio fosse posicionado em duas alturas diferentes. O sistema foi fornecido para um ambiente HV (alto vácuo de 10 a 6 torr), com passagem de vácuo e conectores LEMO. Uma sonda capacitiva foi montada na lateral da óptica do microscópio eletrônico. À medida que a cabeça do microscópio é movida para baixo na direção Z, a medição do sensor de tampa é usada para movê-la rapidamente para sua faixa focal acima da bolacha. Então, o foco final (fino) do microscópio eletrônico é alcançado.

A Solução
A Lion Precision utilizou uma sonda capacitiva compatível com vácuo, personalizada em um ângulo de 45 graus, e Driver CPL290. Este produto atendeu às restrições de espaço do espaço necessário para a sonda, bem como à compatibilidade com o vácuo. o CPL290 foi selecionado por sua capacidade de várias faixas e alta resolução.

O benefício
O Cliente economiza cerca de 6 segundos por ciclo de operação ao usar um sensor capacitivo para focar rapidamente o microscópio eletrônico em uma bolacha. O microscópio eletrônico é usado para localizar e corrigir defeitos de superfície. Como essas plataformas estão em operação 24/7, isso resulta em uma economia de tempo significativa. Isso, por sua vez, permite maior produtividade da bolacha e gera mais receita por hora.

Personalização
A Lion Precision entende que nossos clientes têm aplicativos exclusivos de alta precisão com especificações de desempenho difíceis de alcançar. Como resultado, trabalhamos em estreita colaboração com cada cliente para garantir que eles obtenham uma solução para atender às necessidades de suas aplicações. É por isso que mais de 60% de nossos produtos são personalizados. É também por isso que criamos nossa equipe para responder rapidamente e atender a esses aplicativos de nicho personalizados. Ligue para nós, vamos discutir suas necessidades específicas.

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