ESPESSURA DE SEMI SILICONE WAFER

ESTUDO DE CASO DO SEMICONDUTOR

OS BENEFÍCIOS

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A Solução

Driver CPL190 / 290

Driver CPL230

Driver CPL350

Sonda C8-2.0

Estudos de Caso Relevantes

Medição da altura Z para microscópios eletrônicos de varredura

Detecção de altura Z para inspeção de wafer de semicondutores na parte traseira

O problema
As bolachas de silicone são polidas com uma espessura consistente como parte do processo de fabricação. Espessuras consistentes são críticas para o processo de fabricação. Espessuras fora da tolerância podem levar a rendimentos reduzidos, aumento de sucata e tempo de inatividade dispendioso.

Por que a Lion Precision
Por mais de 30 anos, a Lion Precision fornece sistemas de medição de deslocamento capacitivo sem contato para medições precisas à indústria. Sua alta largura de banda, resolução nanométrica e compatibilidade de vácuo combinadas com confiabilidade muito alta e capacidade de design personalizado fizeram do sistema capacitivo Lion Precision a melhor escolha para essa medição.

O Processo
Os sensores capacitivos de precisão Lion podem ser usados ​​para medir a espessura
de bolachas de silicone. Ao inspecionar as bolachas após o processo de moagem e polimento, os defeitos podem ser detectados a montante, limitando seu custo potencial. Como a medição é sem contato, não há risco de danificar potencialmente a bolacha durante o processo de inspeção. Medições de canal único ou duplo podem ser usadas para medir a espessura da pastilha de silicone. As medições de espessura de canal único medem a alteração na espessura entre a peça a ser inspecionada e uma peça “principal” da espessura conhecida. As medições de espessura de canal duplo colocam a peça a ser medida entre dois sensores (Fig. 3). Cada lado da peça é medido por um sensor separado. A soma das medições dos dois sensores fornece a medição final da espessura (Fig. 4).

A Solução
A Lion Precision possui uma gama completa de drivers capacitivos e sondas para atender às necessidades específicas do aplicativo. Aqui estão alguns que usamos nesta aplicação no passado.

O benefício
Rendimentos aprimorados, diminuição de sucata e tempo de inatividade reduzido.

Personalização
A Lion Precision entende que nossos clientes têm aplicativos exclusivos de alta precisão com especificações de desempenho difíceis de alcançar. Como resultado, trabalhamos em estreita colaboração com cada cliente para garantir que eles obtenham uma solução para atender às necessidades de suas aplicações. É por isso que mais de 60% de nossos produtos são personalizados. É também por isso que criamos nossa equipe para responder rapidamente e atender a esses aplicativos de nicho personalizados. Ligue para nós, vamos discutir suas necessidades específicas.

LINKS ÚTEIS

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White Paper de altura Z

Otimização e tecnologia do sensor capacitivo

Sensores capacitivos

Sensores de Corrente de Foucault