DETECÇÃO DA ALTURA Z PARA INSPEÇÃO DE WAFER DO SEMICONDUTOR LATERAL

ESTUDO DE CASO DO SEMICONDUTOR

OS BENEFÍCIOS

DETECTA:

  • Blister Defeito
  • Rachaduras
  • Delaminação
  • Sarranhões
  • Contaminação
  • batatas fritas
  • Slurry
  • C residualinclinado ACavalheiros

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PDF do Estudo de Caso

A Solução

Driver CPL350

Sonda C9.5-5.6S

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O problema
A inspeção e a revisão da parte traseira são estágios críticos para determinar se as bolachas foram contaminadas com partículas devido a um mau funcionamento da ferramenta ou problema de processo. A contaminação pode levar a um rendimento reduzido. Como a contaminação pode causar pontos de infiltração ou contaminação adicional das ferramentas do processo, é altamente desejável detectar a contaminação antes de criar mais problemas.

Por que a Lion Precision
Por mais de 30 anos, a Lion Precision fornece sistemas de medição de deslocamento capacitivo sem contato para medições precisas à indústria. Sua alta largura de banda, resolução nanométrica e compatibilidade de vácuo combinadas com confiabilidade muito alta e capacidade de design personalizado fizeram do sistema capacitivo Lion Precision a melhor escolha para essa medição.

O Processo
Para resolver o problema do cliente, a Lion Precision começou entendendo os requisitos do aplicativo do cliente, começando com níveis de precisão (resolução e largura de banda), comunicações (analógicas ou digitais) e ambientais (vácuo, temperatura etc.). Depois que a sonda e o driver adequados foram selecionados, uma revisão das restrições de tamanho e montagem foi considerada. Nesta aplicação, a sonda foi montada abaixo da própria bolacha. Isso permitiu ao cliente alavancar o elemento de detecção de sonda capacitiva da Lion Precision, que calcula a média de uma área relativamente grande na superfície, tornando-o ideal para a detecção de “altura Z / foco” em um sistema de inspeção automatizado. Finalmente, a sonda foi ajustada com uma calibração personalizada para a faixa específica, a fim de fornecer ao cliente o máximo desempenho disponível, o que leva ao melhor processo de inspeção para detectar contaminação e defeitos.

A Solução
A Lion Precision utilizou uma sonda capacitiva C9.5-5.6S compatível com vácuo e um calibrador personalizado Driver CPL350. Este produto atendeu às restrições de espaço do espaço necessário para a sonda, bem como à compatibilidade com vácuo.

O benefício
O Cliente reduziu os defeitos, como bolhas, rachaduras, delaminação e arranhões, ajudando a encontrar contaminação, como lascas, chorume e agentes de limpeza residuais. Com uma parte traseira mais limpa e plana da bolacha, o cliente viu uma melhoria no rendimento da produção da bolacha.

Outras Aplicações
Além das aplicações de inspeção na parte traseira da bolacha, os sensores Lion Precision podem ser usados ​​para medições de deslocamento da altura Z em outros tipos de microscópios e sistemas de metrologia óptica.

Personalização
A Lion Precision entende que nossos clientes têm aplicativos exclusivos de alta precisão com especificações de desempenho difíceis de alcançar. Como resultado, trabalhamos em estreita colaboração com cada cliente para garantir que eles obtenham uma solução para atender às necessidades de suas aplicações. É por isso que mais de 60% de nossos produtos são personalizados. É também por isso que criamos nossa equipe para responder rapidamente e atender a esses aplicativos de nicho personalizados. Ligue para nós, vamos discutir suas necessidades específicas.

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