전자 현미경 스캔을위한 Z- 높이 측정

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문제
반도체 검사 도구 제조업체는 주사 전자 현미경을 사용하여 생산 과정에서 실리콘 웨이퍼의 결함을 식별했습니다. 그들은 웨이퍼 위의 적절한 초점 거리에 현미경을 배치 할 수있는 빠르고 안정적인 방법이 필요했습니다. 이 도구는 지속적으로 작동하므로 처리량을 늘리고 수익을 극대화하기 위해 최대한 빨리이 작업을 수행해야합니다.

주사 전자 현미경 (SEM)은 포커싱 된 전자 빔으로 표면을 스캔함으로써 샘플의 이미지를 생성하는 현미경의 한 유형입니다. 전자는 샘플의 원자와 상호 작용하여 샘플의 표면 지형과 구성에 대한 다양한 정보가 포함 된 신호를 생성합니다. 전자빔은 래스터 스캔 패턴으로 스캔되고, 빔의 위치는 검출 된 신호와 결합되어 이미지를 생성한다. SEM은 1 나노 미터보다 나은 해상도를 달성 할 수 있습니다. 시편은 기존 SEM의 고진공, 가변 압력 또는 환경 SEM의 저 진공 또는 습한 조건 및 특수 기기를 사용하여 광범위한 극저온 또는 고온에서 관찰 할 수 있습니다. 고객은 응용 프로그램에서 검사 프로세스를 완료하는 더 빠른 방법을 찾고있었습니다.

왜 라이온 정밀
Lion Precision은 30 년 이상 업계에 정밀한 측정을 위해 비접촉 용량 성 변위 측정 시스템을 제공해 왔습니다. 높은 정확도, 맞춤형 설계 기능과 결합 된 높은 대역폭, 나노 미터 분해능 및 진공 호환성 덕분에 Lion Precision 정전 용량 시스템이이 측정에 가장 적합합니다.

과정
고객은 특히 전자 정밀의 광학 헤드를 웨이퍼의 초점 범위로 빠르게 이동할 수있는 통합 센서 솔루션을 제공하기 위해 Lion Precision에 왔습니다. Lion Precision은 사용 가능한 공간에 맞게 45 ° 표면의 맞춤형 용량 성 프로브를 개발했습니다. 프로브는 신뢰성을 향상시키고 진공 챔버의 충전 문제를 방지하기 위해 PEEK (플라스틱 단열재)로 캡슐화되었습니다. 용량 성 드라이버는 1ms 이내에 온 / 오프 스위칭이 가능하도록 최적화되었습니다. 드라이버의 이중 범위 옵션으로 현미경을 두 가지 높이로 배치 할 수있었습니다. 이 시스템은 진공 피드 스루 및 LEMO 커넥터가있는 HV (고진공 10-6 torr) 환경을 위해 공급되었습니다. 용량 성 프로브는 전자 현미경 광학 측면에 장착되었다. 현미경 헤드가 Z 방향으로 아래로 이동함에 따라 캡 센서 측정은 웨이퍼 위의 초점 범위로 빠르게 이동하는 데 사용됩니다. 그런 다음 전자 현미경의 최종 (미세) 초점이 달성됩니다.

솔루션
Lion Precision은 45도 각도로 맞춤 제작 된 진공 호환 용량 성 프로브를 사용했습니다. CPL290 드라이버. 이 제품은 진공 적합성뿐만 아니라 프로브에 맞는 공간의 공간 제약 조건을 모두 충족했습니다. 그만큼 CPL290 다중 범위 및 고해상도 기능으로 선정되었습니다.

이점
용량 성 센서를 사용하면 전자 현미경을 웨이퍼에 빠르게 초점을 맞출 때 고객은 작동주기 당 약 6 초를 절약 할 수 있습니다. 전자 현미경은 표면 결함을 찾아서 교정하는 데 사용됩니다. 이 플랫폼은 연중 무휴 운영되므로 시간을 크게 절약 할 수 있습니다. 이는 더 많은 웨이퍼 처리량을 허용하고 시간당 더 많은 수익을 창출합니다.

사용자 정의
Lion Precision은 고객이 성능 사양을 달성하기 어려운 고유 한 고정밀 애플리케이션을 보유하고 있음을 이해합니다. 결과적으로 우리는 각 고객과 긴밀히 협력하여 고객의 애플리케이션 요구를 충족시키는 솔루션을 얻도록 보장합니다. 우리 제품의 60 % 이상이 주문 제작되는 이유입니다. 이러한 맞춤형 틈새 애플리케이션에 신속하게 대응하고 서비스를 제공하기 위해 팀을 구성한 이유도 여기에 있습니다. 특정 요구 사항에 대해 논의 해 드리겠습니다.

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Z- 높이 백서

정전 식 센서 최적화 및 기술

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