정밀 센서 및 대상
네스트에 장착 된 비접촉 용량 성 프로브는 스핀들의 툴 홀더 또는 선반 척에 장착 된 정밀 마스터 볼 타겟의 동적 변위를 측정합니다.
XNUMX 축 측정
Z 축에서의 움직임을 측정하기 위해 하단에서 프로브가 장착됩니다. X 및 Y 축의 움직임을 측정하기 위해 한 쌍의 프로브가 직각 (상단)으로 장착됩니다. 두 번째 마스터 볼을 측정하기 위해 두 번째 X 및 Y 프로브 쌍이 장착됩니다. 이러한 프로브 쌍의 조합은 기울기 측정을 생성합니다.
분석 및 디스플레이
독점 소프트웨어는 스핀들이 회전하는 동안 프로브에서 판독 값을 수집하고 결과를 분석 한 다음 극좌표 및 선형 플롯과 신중한 측정 값으로 화면에이를보고합니다.
테스트 포함:
- 회전 민감한 방사형
- 고정 민감한 방사형
- 방사형 틸트
- 축
- 열 성장
- FFT
나열된 값은 다음과 같습니다.
- 동기 오류
- 비동기 오류
- X 및 Y 축 TIR
- 열 성장
- 기울이다
- 더보기.
기술 노트
C-LVDT 대역폭-응답 속도