電子顕微鏡をスキャンするためのZ高さ測定

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問題
半導体検査ツールの製造元は、走査型電子顕微鏡を使用して、製造プロセス中にシリコンウェーハ上の欠陥を特定していました。 彼らは、顕微鏡をウェハー上の適切な焦点距離に配置するための高速で信頼できる方法を必要としていました。 ツールは継続的に稼働しているため、スループットを向上させて利益を最大化するために、できるだけ早くこれを行う必要があります。

走査型電子顕微鏡(SEM)は、集束した電子ビームで表面を走査することにより、サンプルの画像を生成する顕微鏡の一種です。 電子はサンプル内の原子と相互作用し、サンプルの表面トポグラフィーと組成に関するさまざまな情報を含む信号を生成します。 電子ビームはラスタースキャンパターンでスキャンされ、ビームの位置が検出された信号と組み合わされて画像が生成されます。 SEMは1ナノメートルよりも優れた解像度を実現できます。 試料は、従来のSEMでは高真空、可変圧力または環境SEMでは低真空または湿潤状態で、また特殊な機器を使用して広範囲の極低温または高温で観察できます。 お客様は、アプリケーションで検査プロセスを完了するためのより高速な方法を探していました。

ライオンプレシジョンを選ぶ理由
Lion Precisionは30年以上にわたり、業界に精密測定用の非接触静電容量式変位測定システムを提供してきました。 非常に高い信頼性とカスタム設計機能を組み合わせた高帯域幅、ナノメートル分解能、真空互換性により、Lion Precision静電容量システムはこの測定に最適です。

プロセス
顧客は特に、Lion Precisionに来て、電子顕微鏡の光学ヘッドをウエハー上の焦点範囲にすばやく移動できる統合センサーソリューションを提供しました。 Lion Precisionは、利用可能なスペースに合わせるために、45度の表面を持つカスタム静電容量プローブを開発しました。 プローブは、PEEK(プラスチック絶縁材料)でカプセル化されており、信頼性を向上させ、真空チャンバー内の充電の問題を防止しています。 容量性ドライバは、1 ms以内にオン/オフの切り替えができるように最適化されています。 ドライバーのデュアルレンジオプションにより、顕微鏡を10つの異なる高さに配置できます。 システムは、真空フィードスルーとLEMOコネクタを備えたHV(高真空6-XNUMXトール)環境用に提供されました。 静電容量プローブが電子顕微鏡の光学系の側面に取り付けられました。 顕微鏡ヘッドがZ方向に下がると、キャップセンサーの測定値を使用して、ウエハー上の焦点範囲にすばやく移動します。 その後、電子顕微鏡の最終的な(細かい)焦点が達成されます。

ソリューション
Lion Precisionは、45度の角度にカスタマイズされた真空対応容量性プローブを利用し、 CPL290ドライバー。 この製品は、プローブが収まるのに必要なスペースの制約と真空の互換性の両方を満たしました。 の CPL290 マルチレンジと高解像度機能のために選択されました。

利益
静電容量センサーを使用して電子顕微鏡をウエハーにすばやくフォーカスする場合、お客様は操作のサイクルあたり約6秒節約できます。 電子顕微鏡は、表面の欠陥を見つけて修正するために使用されます。 これらのプラットフォームは24時間年中無休で稼働しているため、時間を大幅に節約できます。 これにより、ウェーハのスループットが向上し、7時間あたりの収益が増加します。

カスタム性
Lion Precisionは、お客様がパフォーマンス仕様を達成するのが難しい独自の高精度アプリケーションを持っていることを理解しています。 その結果、私たちは各顧客と緊密に連携して、アプリケーションのニーズを満たすソリューションを確実に入手できるようにしています。 そのため、当社の製品の60%以上がカスタマイズされています。 また、これらのカスタムニッチアプリケーションへの迅速な対応とサービスを中心にチームを構築したのもこのためです。 特定のニーズについて話し合いましょう。

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