要求の厳しいアプリケーション用高分解能静電容量センサー。

高速かつ高精度な測定

主な利点

• 出力インターフェイスと測定レンジの選択
• 利用可能な測定レンジ：10 µm〜12.5 mm
• デュアルレンジ/感度の切り替えが可能（CPL290のみ）
• ±10 V出力
• 68ピンコネクタを用いることでNational InstrumentsのDAQとの接続が容易
• 視覚性が良いインジケータ仕様
• ゼロの粗調整/微調整可能
• ゼロ調整無効
• シングルまたはマルチチャンネルエンクロージャー
• フロントパネルのアース接続
• 標準プローブは真空対応への変更が可能 真空対応.
• 微小な位相シフトによりサーボアプリケーションに最適

【仕様】

代表的な仕様。 分解能と直線性は、プローブ、範囲、および帯域幅によって異なります。 詳細については、プローブと範囲を参照してください。

• 分解能 ビデオ解像度/フレームレート: 0.003％@ 15 kHz | 0.0005％@ 100 Hz
  • 0.003 Hzで15％（最小0.25 nm）
  • 0.0005％@ 100 Hz標準（0.05ナノメートル程度）
  • プローブ/測定レンジに依存します。詳しくは、パンフレットのプローブと測定レンジを参照してください。
• 応答周波数 （-3dB）（PCBディップスイッチ/ユーザー選択可能）： 15 kHz、10 kHz、1 kHz、100 Hz
• 測定レンジ：  (最小)10 µm〜(最大)12.5 mm
• 非直線性(標準)： 0.2％FS
• 最大温度ドリフト： 0.04％FS /°C
• BNC出力電圧： ±10V、0オーム、最大15 mA
• 背面パネルのNational Instrumentsのインターフェースコネクタの出力電圧： 差動±10 V
• 動作温度： 4-50°C
• ゼロ/オフセット調整：  あり
• 温度ドリフト：  0.02％FS/℃