SPESSORE DEL WAFER AL SILICONE SEMI

STUDIO DI CASO DI SEMICONDUTTORE

I VANTAGGI

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La soluzione

Driver CPL190 / 290

Driver CPL230

Driver CPL350

Sonda C8-2.0

Casi di studio rilevanti

Misura dell'altezza Z per microscopi elettronici a scansione

Rilevazione dell'altezza Z per l'ispezione di wafer a semiconduttore sul retro

Il problema
I wafer di silicio sono lucidati a uno spessore costante come parte del processo di fabbricazione. Spessori coerenti sono fondamentali per il processo di fabbricazione. Spessori fuori tolleranza possono portare a rese ridotte, aumento degli scarti e costosi tempi di fermo.

Perché Lion Precision
Da oltre 30 anni Lion Precision fornisce sistemi di misurazione dello spostamento capacitivo senza contatto per misurazioni precise al settore. L'elevata larghezza di banda, la risoluzione nanometrica e la compatibilità del vuoto combinate con un'altissima affidabilità e capacità di progettazione personalizzata hanno reso il sistema capacitivo Lion Precision la scelta migliore per questa misurazione.

Come funziona
I sensori capacitivi Lion Precision possono essere utilizzati per misurare lo spessore
di wafer di silicio. Ispezionando i wafer dopo il processo di macinazione e lucidatura, i difetti possono essere scoperti a monte, limitandone il costo potenziale. Poiché la misurazione è senza contatto, non vi è alcun rischio di danneggiare potenzialmente il wafer durante il processo di ispezione. È possibile utilizzare misurazioni a canale singolo o doppio per misurare lo spessore del wafer di silicio. Le misurazioni dello spessore a canale singolo misurano la variazione di spessore tra la parte da ispezionare e una parte "master" di spessore noto. Le misurazioni dello spessore a doppio canale posizionano la parte da misurare tra due sensori (Fig. 3). Ogni lato della parte viene misurato da un sensore separato. La somma delle misure dai due sensori fornisce la misura finale dello spessore (Fig. 4).

La soluzione
Lion Precision offre una gamma completa di driver e sonde capacitivi per soddisfare le esigenze specifiche dell'applicazione. Eccone alcuni che abbiamo usato in questa applicazione in passato.

Il vantaggio
Resa migliorata, riduzione degli scarti e riduzione dei tempi di fermo.

Personalizzazione
Lion Precision capisce che i nostri clienti hanno applicazioni uniche di alta precisione con specifiche prestazionali difficili da raggiungere. Di conseguenza lavoriamo a stretto contatto con ogni cliente per garantire che ottengano una soluzione per soddisfare le loro esigenze applicative. Ecco perché oltre il 60% dei nostri prodotti è personalizzato. È anche il motivo per cui abbiamo creato il nostro team rispondendo rapidamente e fornendo assistenza per queste applicazioni di nicchia personalizzate. Per favore, chiamaci per discutere delle tue esigenze specifiche.

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Libro bianco di altezza Z.

Ottimizzazione e tecnologia dei sensori capacitivi

Sensori capacitivi

Sensori a correnti parassite