ÉPAISSEUR DE PLAQUETTES SEMI SILICIUM

ÉTUDE DE CAS DE SEMI-CONDUCTEUR

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La solution

Pilote CPL190 / 290

Pilote CPL230

Pilote CPL350

Sonde C8-2.0

Études de cas pertinentes

Mesure de la hauteur en Z pour les microscopes électroniques à balayage

Détection de la hauteur Z pour l'inspection des plaquettes de semi-conducteurs à l'arrière

Le problème
Les tranches de silicium sont polies à une épaisseur constante dans le cadre du processus de fabrication. Des épaisseurs cohérentes sont essentielles au processus de fabrication. Des épaisseurs hors tolérance peuvent entraîner des rendements réduits, une augmentation des rebuts et des temps d'arrêt coûteux.

Pourquoi Lion Precision
Depuis plus de 30 ans, Lion Precision fournit à l'industrie des systèmes de mesure de déplacement capacitifs sans contact pour des mesures précises. Leur bande passante élevée, leur résolution nanométrique et leur compatibilité sous vide combinées à une très grande fiabilité et à une capacité de conception personnalisée ont fait du système capacitif Lion Precision le meilleur choix pour cette mesure.

Le processus
Les capteurs capacitifs Lion Precision peuvent être utilisés pour mesurer l'épaisseur
de tranches de silicium. En inspectant les plaquettes après le processus de meulage et de polissage, des défauts peuvent être détectés en amont, ce qui limite leur coût potentiel. Parce que la mesure est sans contact, il n'y a aucun risque d'endommager potentiellement la plaquette pendant le processus d'inspection. Des mesures à canal unique ou double peuvent être utilisées pour mesurer l'épaisseur des tranches de silicium. Les mesures d'épaisseur monocanal mesurent la variation d'épaisseur entre la pièce à inspecter et une pièce «maître» d'épaisseur connue. Les mesures d'épaisseur à deux canaux placent la pièce à mesurer entre deux capteurs (Fig. 3). Chaque côté de la pièce est mesuré par un capteur séparé. La somme des mesures des deux capteurs fournit la mesure finale de l'épaisseur (Fig.4).

La solution
Lion Precision dispose d'une gamme complète de pilotes capacitifs et de sondes pour répondre aux besoins spécifiques de l'application. Voici quelques-uns que nous avons utilisés dans cette application dans le passé.

Le bénéfice
Amélioration des rendements, diminution des rebuts et diminution des temps d'arrêt.

Sur Mesure
Lion Precision comprend que nos clients ont des applications uniques de haute précision avec des spécifications de performances difficiles à atteindre. En conséquence, nous travaillons en étroite collaboration avec chaque client pour nous assurer qu'ils obtiennent une solution pour répondre aux besoins de leurs applications. C'est pourquoi plus de 60% de nos produits sont personnalisés. C'est également la raison pour laquelle nous avons construit notre équipe autour de la réponse rapide et de la maintenance de ces applications de niche personnalisées. Veuillez nous appeler pour discuter de vos besoins spécifiques.

LIENS UTILES

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Livre blanc hauteur Z

Optimisation et technologie des capteurs capacitifs

Détecteurs capacitifs

Capteurs à courant de Foucault