DÉTECTION DE HAUTEUR Z POUR L'INSPECTION DE TRANCHES DE SEMI-CONDUCTEUR À L'ARRIÈRE

ÉTUDE DE CAS DE SEMI-CONDUCTEUR

LES AVANTAGES

DÉTECTE:

  • Blister Deffet
  • Fissures
  • Délaminage
  • Sdes cratches
  • Contamination
  • chips
  • Slurry
  • C résiduelpenché ALes gents

TÉLÉCHARGEMENTS

Étude de cas PDF

La solution

Pilote CPL350

Sonde C9.5-5.6S

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Le problème
L'inspection et l'examen de l'arrière sont des étapes essentielles pour déterminer si les plaquettes ont été contaminées par des particules en raison d'un dysfonctionnement de l'outil ou problème de processus. La contamination peut entraîner une baisse du rendement. Parce que la contamination peut provoquer des points chauds pas à pas ou une contamination supplémentaire des outils de processus, il est hautement souhaitable de détecter la contamination avant qu'elle ne crée de nouveaux problèmes.

Pourquoi Lion Precision
Depuis plus de 30 ans, Lion Precision fournit à l'industrie des systèmes de mesure de déplacement capacitifs sans contact pour des mesures précises. Leur bande passante élevée, leur résolution nanométrique et leur compatibilité sous vide combinées à une très grande fiabilité et à une capacité de conception personnalisée ont fait du système capacitif Lion Precision le meilleur choix pour cette mesure.

Le processus
Afin de résoudre le problème pour le client, Lion Precision a commencé par comprendre les exigences autour de l'application client en commençant par les niveaux de précision (résolution et bande passante), les communications (analogiques ou numériques) et l'environnement (vide, température, etc.). Une fois la sonde et le pilote appropriés sélectionnés, un examen des contraintes de taille et de montage a été envisagé. Dans cette application, la sonde était montée sous la plaquette elle-même. Cela a permis au client de tirer parti de l'élément de détection de sonde capacitif de Lion Precision qui fait la moyenne sur une zone relativement grande sur la surface, ce qui le rend idéal pour la détection de «hauteur Z / focus» sur un système d'inspection automatisé. Enfin, la sonde a été réglée avec un étalonnage personnalisé pour la gamme spécifique afin de donner au client les performances maximales disponibles, ce qui conduit au meilleur processus d'inspection pour détecter la contamination et les défauts.

La solution
Lion Precision a utilisé une sonde capacitive C9.5-5.6S compatible avec le vide et une sonde calibrée sur mesure Pilote CPL350. Ce produit répondait à la fois aux contraintes d'espace de l'espace nécessaire à la sonde et à la compatibilité sous vide.

Le bénéfice
Le Client a réduit les défauts tels que les cloques, les fissures, le délaminage et les rayures tout en aidant à trouver des contaminations telles que des copeaux, du lisier et des agents de nettoyage résiduels. Avec une face arrière de tranche plus propre et plus plate, le client a constaté une amélioration du rendement de la production de tranches.

Autres applications
Outre les applications d’inspection arrière des tranches, les capteurs Lion Precision peuvent être utilisés pour les mesures de déplacement en hauteur Z sur d’autres types de microscopes et de systèmes de métrologie à base optique.

Sur Mesure
Lion Precision comprend que nos clients ont des applications uniques de haute précision avec des spécifications de performances difficiles à atteindre. En conséquence, nous travaillons en étroite collaboration avec chaque client pour nous assurer qu'ils obtiennent une solution pour répondre aux besoins de leurs applications. C'est pourquoi plus de 60% de nos produits sont personnalisés. C'est également la raison pour laquelle nous avons construit notre équipe autour de la réponse rapide et de la maintenance de ces applications de niche personnalisées. Veuillez nous appeler pour discuter de vos besoins spécifiques.

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