ESPESOR SEMI SILICONA WAFER

ESTUDIO DE CASO DE SEMICONDUCTOR

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La solución

CPL190 / 290 Driver

Controlador CPL230

Controlador CPL350

Sonda C8-2.0

Estudios de casos relevantes

Medición de la altura Z para escanear microscopios electrónicos

Detección de altura Z para inspección de obleas de semiconductores en la parte posterior

El problema
Las obleas de silicio se pulen a un espesor constante como parte del proceso de fabricación. Los espesores consistentes son críticos para el proceso de fabricación. Los espesores fuera de tolerancia pueden conducir a rendimientos reducidos, desecho aumentado y tiempo de inactividad costoso.

Por qué la precisión del león
Durante más de 30 años, Lion Precision ha suministrado sistemas de medición de desplazamiento capacitivos sin contacto para mediciones precisas a la industria. Su gran ancho de banda, resolución nanométrica y compatibilidad de vacío combinada con una muy alta confiabilidad y capacidad de diseño personalizado hicieron del sistema capacitivo Lion Precision la mejor opción para esta medición.

El Proceso
Los sensores capacitivos Lion Precision se pueden usar para medir el grosor
de obleas de silicio. Al inspeccionar las obleas después del proceso de pulido y pulido, se pueden atrapar defectos aguas arriba, lo que limita su costo potencial. Debido a que la medición es sin contacto, no hay riesgo de dañar la oblea durante el proceso de inspección. Se pueden usar mediciones de uno o dos canales para medir el grosor de la oblea de silicio. Las mediciones de espesor de un solo canal miden el cambio de espesor entre la parte a inspeccionar y una parte "maestra" de espesor conocido. Las mediciones de espesor de doble canal colocan la pieza a medir entre dos sensores (Fig. 3). Cada lado de la pieza se mide con un sensor separado. La suma de las mediciones de los dos sensores proporciona la medición final del espesor (Fig. 4).

La solución
Lion Precision tiene una gama completa de sondas y controladores capacitivos para adaptarse a las necesidades específicas de la aplicación. Aquí hay algunos que hemos usado en esta aplicación en el pasado.

El beneficio
Rendimiento mejorado, disminución de chatarra y disminución del tiempo de inactividad.

Personalización
Lion Precision entiende que nuestros clientes tienen aplicaciones únicas de alta precisión con especificaciones de rendimiento difíciles de alcanzar. Como resultado, trabajamos estrechamente con cada cliente para asegurarnos de que obtengan una solución que satisfaga sus necesidades de aplicación. Es por eso que más del 60% de nuestros productos están personalizados. También es la razón por la que hemos construido nuestro equipo en torno a responder rápidamente y dar servicio a estas aplicaciones de nicho personalizadas. Llámenos, discutamos sus necesidades específicas.

ENLACES ÚTILES

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Libro blanco de altura Z

Tecnología y optimización de sensores capacitivos

Sensores Capacitivos

Sensores Eddy-Current