DETECCIÓN DE ALTURA Z PARA LA INSPECCIÓN DE LA WAFER DEL SEMICONDUCTOR TRASERO

ESTUDIO DE CASO DE SEMICONDUCTOR

LOS BENEFICIOS

DETECTA

  • Blister Defectos
  • Grietas
  • Delaminación
  • Sarañazos
  • Contaminación
  • Papas fritas
  • lechada
  • C residualpropensión ASeñores

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Estudio de caso PDF

La solución

Controlador CPL350

Sonda C9.5-5.6S

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Espesor de oblea de silicio SEMI

Enlaces de interés

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El problema
La inspección y revisión posterior son etapas críticas para determinar si las obleas se han contaminado con partículas debido a un mal funcionamiento de la herramienta o problema del proceso. La contaminación puede conducir a un rendimiento reducido. Debido a que la contaminación puede causar puntos calientes escalonados o una mayor contaminación de las herramientas del proceso, es altamente deseable detectar la contaminación antes de que genere más problemas.

Por qué la precisión del león
Durante más de 30 años, Lion Precision ha suministrado sistemas de medición de desplazamiento capacitivos sin contacto para mediciones precisas a la industria. Su gran ancho de banda, resolución nanométrica y compatibilidad de vacío combinada con una muy alta confiabilidad y capacidad de diseño personalizado hicieron del sistema capacitivo Lion Precision la mejor opción para esta medición.

El Proceso
Para resolver el problema para el cliente, Lion Precision comenzó por comprender los requisitos en torno a la aplicación del cliente, comenzando con niveles de precisión (resolución y ancho de banda), comunicaciones (analógicas o digitales) y ambientales (vacío, temperatura, etc.). Una vez que se seleccionaron la sonda y el controlador adecuados, se consideró una revisión de las restricciones de tamaño y montaje. En esta aplicación, la sonda se montó debajo de la oblea misma. Esto permitió al cliente aprovechar el elemento sensor de sonda capacitiva de Lion Precision que promedia sobre un área relativamente grande en la superficie, lo que lo hace ideal para la detección de "altura / enfoque Z" en un sistema de inspección automatizado. Finalmente, la sonda se sintonizó con una calibración personalizada para el rango específico para brindar al cliente el máximo rendimiento disponible que conduce al mejor proceso de inspección para detectar contaminación y defectos.

La solución
Lion Precision utilizó una sonda capacitiva C9.5-5.6S compatible con vacío, y una calibración personalizada Controlador CPL350. Este producto cumplió con las limitaciones de espacio del espacio que la sonda necesitaba y la compatibilidad con el vacío.

El beneficio
El Cliente redujo los defectos como ampollas, grietas, delaminación y rasguños, al tiempo que ayudó a encontrar contaminación, como astillas, lodos y agentes de limpieza residuales. Con una parte posterior más limpia y más plana, el cliente vio una mejora en el rendimiento de la producción de obleas.

Otras aplicaciones
Además de las aplicaciones de inspección de la parte posterior de la oblea, los sensores Lion Precision se pueden usar para mediciones de desplazamiento de altura Z en otros tipos de microscopios y sistemas de metrología basados ​​en óptica.

Personalización
Lion Precision entiende que nuestros clientes tienen aplicaciones únicas de alta precisión con especificaciones de rendimiento difíciles de alcanzar. Como resultado, trabajamos estrechamente con cada cliente para asegurarnos de que obtengan una solución que satisfaga sus necesidades de aplicación. Es por eso que más del 60% de nuestros productos están personalizados. También es la razón por la que hemos construido nuestro equipo en torno a responder rápidamente y dar servicio a estas aplicaciones de nicho personalizadas. Llámenos, discutamos sus necesidades específicas.

ENLACES ÚTILES

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