SEMI SILICON WAFER DICKE

HALBLEITER-FALLSTUDIE

DIE VORTEILE

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Die Lösung

CPL190 / 290-Treiber

CPL230-Treiber

CPL350-Treiber

C8-2.0 Sonde

Relevante Fallstudien

Z-Höhenmessung für Rasterelektronenmikroskope

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Das Problem
Siliziumwafer werden im Rahmen des Herstellungsprozesses auf eine gleichmäßige Dicke poliert. Gleichmäßige Dicken sind für den Herstellungsprozess von entscheidender Bedeutung. Dicken außerhalb der Toleranz können zu verringerten Ausbeuten, erhöhtem Ausschuss und teuren Ausfallzeiten führen.

Warum Lion Precision
Lion Precision liefert seit über 30 Jahren berührungslose kapazitive Wegmesssysteme für präzise Messungen an die Industrie. Ihre hohe Bandbreite, Nanometerauflösung und Vakuumkompatibilität in Kombination mit sehr hoher Zuverlässigkeit und kundenspezifischem Design machten das kapazitive System Lion Precision zur besten Wahl für diese Messung.

Der Prozess
Mit Lion Precision Capacitive Sensoren kann die Dicke gemessen werden
von Siliziumwafern. Durch die Inspektion der Wafer nach dem Schleifen und Polieren können Defekte stromaufwärts aufgefangen werden, wodurch ihre potenziellen Kosten begrenzt werden. Da die Messung berührungslos ist, besteht keine Gefahr einer möglichen Beschädigung des Wafers während des Inspektionsprozesses. Zur Messung der Siliziumwaferdicke können entweder Einkanal- oder Zweikanalmessungen verwendet werden. Einkanalige Dickenmessungen messen die Änderung der Dicke zwischen dem zu prüfenden Teil und einem „Master“ -Teil bekannter Dicke. Bei Zweikanal-Dickenmessungen wird das zu messende Teil zwischen zwei Sensoren platziert (Abb. 3). Jede Seite des Teils wird von einem separaten Sensor gemessen. Die Summe der Messungen der beiden Sensoren liefert die endgültige Messung der Dicke (Abb. 4).

Die Lösung
Lion Precision bietet eine breite Palette an kapazitiven Treibern und Sonden, um den spezifischen Anwendungsanforderungen gerecht zu werden. Hier sind einige, die wir in der Vergangenheit in dieser Anwendung verwendet haben.

Der Vorteil
Verbesserte Erträge, weniger Ausschuss und kürzere Ausfallzeiten.

Anpassung
Lion Precision ist sich bewusst, dass unsere Kunden einzigartige hochpräzise Anwendungen mit schwer zu erreichenden Leistungsspezifikationen haben. Daher arbeiten wir eng mit jedem Kunden zusammen, um sicherzustellen, dass er eine Lösung erhält, die seinen Anwendungsanforderungen entspricht. Deshalb sind mehr als 60% unserer Produkte maßgeschneidert. Aus diesem Grund haben wir unser Team darauf aufgebaut, schnell auf diese benutzerdefinierten Nischenanwendungen zu reagieren und diese zu warten. Bitte rufen Sie uns an, lassen Sie uns Ihre spezifischen Bedürfnisse besprechen.

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