QuikApps - Prefocus-Positionierung von Siliziumwafern für Lithografie, Inspektion oder Nachbearbeitung

Sensoren bieten einen schnelleren Durchsatz mit schnellem Vorfokus

Sensoren bieten einen schnelleren Durchsatz mit schnellem Vorfokus

Siliziumwafer durchlaufen während der Herstellung mehrere Prozesse. Einige Prozesse erfordern eine präzise Fokussierung wie Elektronenmikroskopie, Lithographie oder Nachbearbeitung mit Lasern.

Verwendung eines kapazitiv or Wirbelstrom Ein Sensor zur Überwachung der Position der Hardware, die den Wafer hält, kann einen genauen Fokus liefern und / oder den Durchsatz verringern, indem er eine schnelle Vorfokusposition liefert.