Z-HEIGHT DETECTION FÜR BACKSIDE SEMICONDUCTOR WAFER INSPECTION

HALBLEITER-FALLSTUDIE

DIE VORTEILE

DETEKTE:

  • Blister D.Effekte
  • Risse
  • Delaminierung
  • SKratzer
  • Kontamination
  • Pommes frites
  • Gülle
  • Rest C.gelehnt AGents

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Die Lösung

CPL350-Treiber

C9.5-5.6S Sonde

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Nützliche Links

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Das Problem
Die Inspektion und Überprüfung der Rückseite sind wichtige Phasen, um festzustellen, ob die Wafer aufgrund einer Fehlfunktion des Werkzeugs mit Partikeln kontaminiert sind oder Prozessproblem. Verunreinigungen können zu einer verminderten Ausbeute führen. Da Verunreinigungen Stepper Hot Spots oder weitere Verunreinigungen von Prozesswerkzeugen verursachen können, ist es äußerst wünschenswert, Verunreinigungen zu erkennen, bevor weitere Probleme entstehen.

Warum Lion Precision
Lion Precision liefert seit über 30 Jahren berührungslose kapazitive Wegmesssysteme für präzise Messungen an die Industrie. Ihre hohe Bandbreite, Nanometerauflösung und Vakuumkompatibilität in Kombination mit sehr hoher Zuverlässigkeit und kundenspezifischem Design machten das kapazitive System Lion Precision zur besten Wahl für diese Messung.

Der Prozess
Um das Problem für den Kunden zu lösen, begann Lion Precision damit, die Anforderungen rund um die Kundenanwendung zu verstehen, beginnend mit Präzisionsstufen (Auflösung und Bandbreite), Kommunikation (analog oder digital) und Umgebung (Vakuum, Temperatur usw.). Sobald die richtige Sonde und der richtige Treiber ausgewählt waren, wurde eine Überprüfung der Einschränkungen in Bezug auf Größe und Montage in Betracht gezogen. In dieser Anwendung wurde die Sonde unter dem Wafer selbst montiert. Dies ermöglichte es dem Kunden, das kapazitive Sondenerfassungselement von Lion Precision zu nutzen, das über einen relativ großen Bereich der Oberfläche gemittelt wird, was es ideal für die Erkennung von „Z-Höhe / Fokus“ in einem automatisierten Inspektionssystem macht. Schließlich wurde die Sonde mit einer benutzerdefinierten Kalibrierung für den spezifischen Bereich abgestimmt, um dem Kunden die maximal verfügbare Leistung zu bieten, die zum besten Inspektionsprozess zum Erkennen von Kontaminationen und Defekten führt.

Die Lösung
Lion Precision verwendete eine vakuumkompatible kapazitive C9.5-5.6S-Sonde und eine speziell kalibrierte CPL350-Treiber. Dieses Produkt erfüllte sowohl die Platzbeschränkungen des Raums, in den die Sonde passen musste, als auch die Vakuumkompatibilität.

Der Vorteil
Der Kunde reduzierte die Defekte wie Blasen, Risse, Delaminationen und Kratzer und half dabei, Kontaminationen wie Späne, Gülle und Reinigungsmittelreste zu finden. Mit einer saubereren, flacheren Waferrückseite konnte der Kunde eine Verbesserung der Ausbeute der Waferherstellungsleistung feststellen.

Weitere Anwendungen
Neben Inspektionsanwendungen für die Rückseite von Wafern können Lion Precision-Sensoren für Z-Höhen-Verschiebungsmessungen an anderen Mikroskoptypen und optisch basierten Messsystemen verwendet werden.

Anpassung
Lion Precision ist sich bewusst, dass unsere Kunden einzigartige hochpräzise Anwendungen mit schwer zu erreichenden Leistungsspezifikationen haben. Daher arbeiten wir eng mit jedem Kunden zusammen, um sicherzustellen, dass er eine Lösung erhält, die seinen Anwendungsanforderungen entspricht. Deshalb sind mehr als 60% unserer Produkte maßgeschneidert. Aus diesem Grund haben wir unser Team darauf aufgebaut, schnell auf diese benutzerdefinierten Nischenanwendungen zu reagieren und diese zu warten. Bitte rufen Sie uns an, lassen Sie uns Ihre spezifischen Bedürfnisse besprechen.

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